而arf光刻胶又分正胶和反胶，这次曝光用的是正胶，被曝光区域的光刻胶会发生化学反应，没曝光区域则不受到影响。 一块区域被曝光后，透镜组立马移动，侧开照射光源，待移动平台调整后继续移回正位，对下一个区域进行光刻曝光。</p>
12寸半导体硅片，大概能产出232块1.6x1.6的成品裸片，也就是说需要曝光232次。</p>
目前来说，曝光一次的速度大概在1秒，这就需要232秒，也就是差不多4分钟才能把一张半导体硅片全部曝光完成。</p>
虽然这个速度相比较于光刻机慢了差不多一倍，可光刻工厂毕竟是国产自研，而且是第一代产物，后续透镜组和移动平台还能继续优化，追赶上光刻机的光刻速度不是不可能的。</p>
在等待了四分钟后，林天看向陈星等人解释道：“考虑到两块光掩膜版的能量消耗，我们先不急着拿去显影，让半导体硅片再次加热，加剧光刻胶的化学反应。”</p>
陈星、雷兵、夏扬微微颔首，都在等待着结果。</p>
现在这里陈星算半个门外汉，雷兵、夏扬则是都是门外汉，只能听林天安排。</p>
他别说拿去烤了，哪怕是烧，他们也会觉得很合理。</p>
随着林天输入指令，本该送去显影的半导体硅片被传送去了烘烤区域，进行二次加热，加剧arf光刻胶内部的化学反应。</p>
当这步完成以后，半导体硅片再次被运输，它来到了显影区域。</p>
先用去离子水润湿硅片，紧接着把硅片放在显影平台，上方的机器设备喷出显影液，均匀地撒在半导体硅片表面，进一步溶解被曝光的部分区域。</p>
随着这个步骤完成，半导体硅片表面已经清晰可见电路图案，只差最后的冲洗，将未曝光部分黏着的光刻胶全部清洗掉。</p>
“我好像看见图案了。”</p>
雷兵瞪大双眼，不敢错过任何一丝的细节。</p>
“我也看见了。”夏扬附和道。</p>
刚才半导体硅片清洗拿出时，可以清晰看见硅片表面密密麻麻的电路图案。</p>
“有电路图案是好事，但还需要经过电路测试才能知道芯片能不能正常运行。”</p>
陈星讲解道。</p>
经过了开天芯片、轻舟芯片、soc上帝芯片多次耳濡目染，他已经算半个行内人了。</p>
曝光、蚀刻、显影、清洗他都略懂一二，当然了，只是略懂，还停留在理论知识层面。</p>
不过纵使是这样，雷兵还是忍不住竖起拇指称赞道：“想不到陈总不仅在商业领域有所建树，原来在芯片领域也有自己独到的见解。”</p>
“确实想不到。”</p>
夏扬也附和一声。</p>
本以为陈星什么也不懂，没想到人家出口成章，这让他们都感到了一丝意外。</p>
听着两人称赞，陈星也几位谦虚道：“不算是见解，只是耳濡目染多了记下的知识点。”</p>
“能记下也是个本事。”</p>
雷兵笑道。</p>
夏扬也点了点头，附和道：“没错，记忆力不好的想记也记不住，陈总能记住这些流程，足以见得龙兴科技深耕芯片的赤子之心。”</p>
在两人一唱一和拍陈星马屁的同时，全自动化的生产线已经把显影后的半导体硅片送去切片，进行最终电路测试。</p>
林天看着“检测中”的提示，看向陈星说道：“如果可以通过，二期光刻工厂就可以开工了，不过能源还是个问题…”</p>
他目光看向夏扬。</p>
后者立马会意，连忙说道：“陈总、林首席你们放心好了，只要证实光刻工厂可行，天一亮我就回去召开市级会议，主题就是建设你们的能源输送通道。”</p>
“没错。”</p>
雷兵附和一句，继续说道：“别的地方不敢保证，但在深城，夏局还是可以说上两句话的。”</p>
“包在我身上。”</p>
夏扬拍了拍胸口。</p>
他们都是混体制的，当然明白国家目前的主推方向。</p>
要是能协助龙兴科技完成光刻工厂的建设，那他们所有人说不定都可以往上走两步。</p>
体制内，谁不想进步？</p>
有进步的机会，他们可不会放过，更何况是涉及“芯片”的。</p>
“我先谢谢两位的好意，不过…”陈星犹豫了一会，还是决定说出宋卫国承诺的“东电南调”计划道：</p>
“就如果说光刻工厂证实可以产出芯片，我希望深城电力局多建设抛狗岭地区的电力传输系统，保障电力输送，至于电力的话，奉天军区的宋首长说过，近期会有个东电南调文件下达。”</p>
雷兵：“？？？”</p>
夏扬：“！！！”</p>
这句话说出那刻，雷兵满脑子都是问号。</p>
奉天军区？</p>
这不是隶属于北部战区的吗？</p>
你陈星不和南部战区打交道，跑去北部战区了？</p>
身旁的夏扬则是惊讶到懵逼，东电南调文件，这不是刚刚下达的全国性绝密文件吗？</p>
难不成…</p>
它是专门支撑光刻工厂的？？</p>
想通了！</p>
夏扬终于想通了！</p>
他就说怎么这么奇怪，明明东部地区用的是国家电网，而深城用的是南方电网，怎么会突然输送电力过来，深城也不缺电啊。</p>
原来是专门支持龙兴科技建设光刻工厂的，这也就是说，上边其实已经是知道的了。</p>
“咕噜——”</p>
夏扬咽了口唾沫。</p>
他看向陈星的目光，已经带了几分敬畏，这个不到三十的青年掌握的能量超乎了他的想象。</p>
如果可以的话，他真想在陈星耳畔轻声说一句：“陈总，我夏扬太想进步了。”</p>
就在雷兵和夏扬内心掀起惊涛骇浪，震惊到大脑空白时，林天突然打断了他们道：“裸片电路的检测结果出来了。”</p>
陈星：“！！！”</p>
雷兵：“！！！”</p>
夏扬：“！！！”</p>
三人立马侧目，顺着林天目光注视的方向看去，上面赫然写着“电路未检测出异常”八个大字，最左侧的屏幕，还有soc上帝芯片的全部数据参数，包括纳米等级，微架构与运行功率。</p>
在一一进行比对后，林天神色激动地看向陈星等人宣布道：“成功了！光刻工厂实现了！”</p>
